產(chǎn)品分類
- 產(chǎn)品描述
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- 商品名稱: kunz FL-800直線度測量系統(tǒng)
- 商品編號: 201.000
瑞士丹青FL-800是一款超高精度CNC型直線度檢測儀，具有極高的直線度測量精度與穩(wěn)定性，可作為直線度測量基準(zhǔn)，對長≤800mm的被測件開展超高精度的直線度測量與 表面微觀輪廓趨勢的觀察。整機為龍門式結(jié)構(gòu)，由高精度手工研磨導(dǎo)軌、高精度氣浮軸承、高穩(wěn)定性真空吸附滑臺、高精度測量模組與專業(yè)直線度測量軟件組成。設(shè)備導(dǎo)軌采用特殊涂層，可同時保證測量穩(wěn)定性、耐磨性與導(dǎo)軌表面硬度，特別適用于半導(dǎo)體加工行業(yè)。技術(shù)參數(shù)：型號 FL-800行程 810mm測量長度 800mm垂直方向直線度 0.3µm分辨率 0.01µm控制方式 CNC重量 46kg氣壓需求 6bar耗氣量 40升/分鐘環(huán)境溫度 15-25℃
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