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德瑞華測(cè)量技術(shù)（蘇州）有限公司

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生物芯片玻璃蝕刻的精密利器：Trimos WLI白光干涉儀

發(fā)布時(shí)間：

2025-11-18 11:30

在比頭發(fā)絲細(xì)百倍的微流控通道里，一個(gè)納米的誤差，可能讓價(jià)值數(shù)十萬(wàn)的生物芯片報(bào)廢。

當(dāng)您的科研團(tuán)隊(duì)正在為玻璃蝕刻精度徹夜難眠時(shí)，丹青科技Trimos Compact WLI白光干涉儀，或許正是那把打開(kāi)微觀世界精確之門的鑰匙。

在生物芯片制造領(lǐng)域，玻璃基底的微米級(jí)蝕刻加工是核心技術(shù)之一。這些蝕刻結(jié)構(gòu)構(gòu)成了微流控芯片的流體通道、生物傳感器的敏感區(qū)域，以及各類生物分子檢測(cè)元件的載體。
生物芯片玻璃蝕刻面臨哪些測(cè)量難題？
·蝕刻深度控制：微米級(jí)通道深度偏差直接影響生物流體性能

·表面粗糙度：影響生物分子附著和流體穩(wěn)定性

·三維形貌：復(fù)雜的微觀結(jié)構(gòu)難以全面評(píng)估

丹青Compact WLI白光干涉微觀形貌及粗糙度儀是用于記錄3D形貌光學(xué)測(cè)量技術(shù)，其分辨率高達(dá)納米級(jí)。測(cè)量點(diǎn)平行采集和處理，大面積的高度信息可以在很短時(shí)間內(nèi)采集。

Compact WLI白光干涉儀的"超能力"，源于其顛覆性測(cè)量原理：

? 非接觸、零損傷

不用探針觸碰樣品，僅憑白光干涉條紋掃描，像給芯片做"CT"——這對(duì)已固定抗體、DNA探針的功能化芯片至關(guān)重要。

? 0.1納米垂直分辨率

什么概念？相當(dāng)于原地"看到"單個(gè)原子層級(jí)的起伏。蝕刻缺陷、生物膜厚度變化，在它面前無(wú)所遁形。

? 400微米測(cè)量范圍

從5微米的細(xì)胞分離通道到100微米的DNA分析結(jié)構(gòu)，一次掃描全覆蓋。

? 秒級(jí)測(cè)量速度

傳統(tǒng)輪廓儀測(cè)一個(gè)點(diǎn)，它已測(cè)完全場(chǎng)。100%全檢不再是夢(mèng)，直接改寫(xiě)您的QC流程。


?? 優(yōu)勢(shì)一：一機(jī)多用，靈活切換

2.5倍到100倍物鏡任意切換：

低倍（2.5x-10x）：快速定位芯片整體形貌

高倍（50x-100x）：精確定位側(cè)壁角度、底部微缺陷

單臺(tái)設(shè)備覆蓋從研發(fā)到生產(chǎn)的全場(chǎng)景需求，投資回報(bào)率大幅提升。

?? 優(yōu)勢(shì)二：材料通吃，無(wú)懼挑戰(zhàn)

玻璃、硅片、金屬掩模版、PDMS……無(wú)論您的芯片是哪種材料組合，它都能穩(wěn)定輸出數(shù)據(jù)。換工藝不換設(shè)備，省心省錢。

?? 優(yōu)勢(shì)三：智能軟件，一鍵出報(bào)告

Trimos Nanoware軟件自動(dòng)計(jì)算：

蝕刻深度、通道體積

表面粗糙度（Ra, Rz, Sa等20+參數(shù)）

三維形貌偏差分析

從微流控芯片到生物傳感器，從研發(fā)實(shí)驗(yàn)室到批量生產(chǎn)線，Trimos WLI為各類生物芯片制造提供可靠的質(zhì)控保障。


 

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